В.К. Попов. Расчёт и проектирование устройств электронной и ионной литографии

В пособии изложены сведения о принципах работы и конструктивных особенностях устройств зондового и проекционного оборудования электронной и ионной литографии. Даны основные понятия электронной оптики, описаны методы расчета аберрационных характеристик электронно-оптических систем с осевой симметрией и с малыми отклонениями от нее.

Издательство: Радио и связь
Год: 1985
Формат: pdf
Страниц: 130
Язык: русский

 

Скачать книгу (17,7 МБ):